[发明专利]石墨烯碳纳米管复合膜及其制备方法、以及薄膜晶体管阵列在审
| 申请号： | 202011393348.3 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112537769A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 夏玉明;卓恩宗;袁海江 | 申请（专利权）人： | 北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/184 | 分类号： | C01B32/184;C01B32/16;H01L27/12 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 张志江 |
| 地址： | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北海大*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本申请公开一种石墨烯碳纳米管复合膜及其制备方法、以及薄膜晶体管阵列。其中，所述石墨烯碳纳米管复合膜的制备方法包括以下步骤：采用电化学沉积法在金属基底的表面沉积石墨烯薄膜；采用原子层沉积法在所述石墨烯薄膜的表面沉积碳纳米管膜；以及采用去除剂去除所述金属基底，清洗后得到石墨烯碳纳米管复合膜。本申请的技术方案制备得到的石墨烯碳纳米管复合膜具有较高的电荷迁移率，较好的导电性能、优异的透光性、化学稳定性及机械性能，可以替代传统ITO材料并广泛应用于薄膜晶体管。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 纳米 复合 及其 制备 方法 以及 薄膜晶体管 阵列 | ||
【主权项】：
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