[发明专利]差动共焦定面干涉靶丸内、外表面缺陷检测方法与装置有效
| 申请号： | 202011396205.8 | 申请日： | 2020-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN112630232B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 赵维谦;杨帅;王允;邱丽荣 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/892 | 分类号： | G01N21/892 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 张利萍 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及差动共焦定面干涉靶丸内、外表面缺陷检测方法及装置，属于光学成像与检测技术领域。该方法首次利用差动共焦光强响应曲线高分辨、高灵敏的过零点为判断依据来精准定位靶丸(被测面)和相机(探测面)的轴向位置，以此分别实现靶丸内、外表面的直接、准确对焦成像；采用短相干光源区分内、外表面干涉图，利用移相干涉技术分别测得内、外表面缺陷分布；在成像光路中增加准直‑成像透镜并采用移动干涉相机的原位对焦方式，根据测得外表面缺陷的像素位置精准、原位地剔除其造成的内表面伪缺陷，有效解决内表面伪缺陷的误判问题。本发明为靶丸内、外表面缺陷的高精度直接检测和大批量自动化检测提供第一条可行途径。 | ||
| 搜索关键词： | 差动 共焦定面 干涉 靶丸内 外表 缺陷 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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