[发明专利]微发光二极管的转移方法及转移设备有效
| 申请号： | 202011400615.5 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112582519B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 李庆;韦冬;于波;顾杨 | 申请（专利权）人： | 苏州芯聚半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/48 | 分类号： | H01L33/48;H01L21/67;H01L27/15 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 常伟 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微发光二极管的转移方法及转移设备，转移方法包括：S1、提供包括多个第一微发光二极管的第一基板，获取多个第一微发光二极管中异常微发光二极管的位置信息；S2、提供包括多个第二微发光二极管的第二基板，适配位置信息至第二基板上，标记与位置信息对应的第二微发光二极管为目标微发光二极管；S3、提供第三基板，压合第二基板至第三基板上，以使目标微发光二极管与第三基板上对应的接收端子对应；S4、转移目标微发光二极管至第三基板上，移除第二基板；S5、剥离异常微发光二极管形成空缺，压合第一基板至第三基板，空缺与目标微发光二极管对应；S6、转移多个第一微发光二极管至第三基板上对应的接收端子上。 | ||
| 搜索关键词： | 发光二极管 转移 方法 设备 | ||
【主权项】：
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