[发明专利]一种用于电子束流的能量测量系统在审
| 申请号： | 202011401072.9 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112764085A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 叶斌;谭松清;高宁;单云;张海龙;黄敬松;封淼伟;王复涛;赵平;王凤涛;徐粒峰 | 申请（专利权）人： | 上海高鹰科技有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/24 | 分类号： | G01T1/24;G01T1/29;G01T1/36 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201507 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于电子束流的能量测量系统，包括：一种用于电子束流的能量测量系统，包括：铝基板，铝基板的下表面与一放置平面平行，上表面斜向上设置，且具有多个阶梯状的铝基阶级；电路板，设置于放置平面上且位于铝基板的下表面的下方，并与铝基板的下表面平行；电路板上设置有与铝基板上表面的铝基阶级一一对应的探测器，探测器用于探测从铝基板的上表面射入并穿过铝基板的下表面的电子束形成的电流；预处理模块，分别连接各个探测器，用于对探测器采集的电流进行预处理；数据分析模块，连接预处理模块，用于对预处理后的电流进行分析得到电子束流的最可几能量和平均能量。结构简单，测试成本低，测试方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电子束 能量 测量 系统 | ||
【主权项】：
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