[发明专利]液体处理装置以及处理液的温度调整方法在审
| 申请号： | 202011405465.7 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112987499A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 山内刚;柴田大树;川上浩平 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种液体处理装置以及处理液的温度调整方法。在对向喷出喷嘴供给的处理液进行温度调整时防止水分混入该处理液。液体处理装置具有：基板保持部，其用于保持基板；喷出喷嘴，其向保持于基板保持部的基板喷出处理液；液体供给管，其将来自处理液的储存源的处理液向喷出喷嘴供给；气体管，其内包液体供给管，处理液的温度调整用的非活性气体在该气体管与液体供给管之间的空间流通；处理容器，其在内部设有基板保持部、喷出喷嘴、液体供给管以及气体管；以及气氛气体供给部，其向处理容器内供给气氛气体，气体管在处理容器内的上游侧端与内包有液体供给管的内包部分之间的部分、即延伸部在该处理容器内以俯视为折返的方式设置。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 处理 装置 以及 温度 调整 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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