[发明专利]感应加热线圈及使用其的单晶制造装置有效
| 申请号： | 202011406603.3 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112921394B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 铃木优作;杉田圭谦;佐川泰之;下村库一 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/20 | 分类号： | C30B13/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;司昆明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供能够防止以附着于上表面的微小的异物为原因产生的单晶的有位错化的感应加热线圈及使用其的单晶硅制造装置。本发明的感应加热线圈（20）用于基于悬浮区熔法的单晶的制造，具备感应加热线圈主体（21）、设置于感应加热线圈主体（21）的上表面的异物捕获夹具（30）。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 加热 线圈 使用 制造 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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