[发明专利]加热部件功率控制方法、半导体工艺设备有效
| 申请号： | 202011406987.9 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112540640B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 陈路路 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05F1/66 | 分类号： | G05F1/66;G05B13/04;H05B1/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了加热部件功率控制方法、半导体工艺设备，该方法包括：在当前工艺过程完成后，确定在当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围；基于控温阶段的功率波动范围，确定控温阶段的功率波动值，判断功率波动值是否大于或等于预设的波动阈值；若功率波动值大于或等于波动阈值，基于当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围，确定下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围；在下一工艺过程中，根据加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围，控制加热部件在升温阶段的功率以及在控温阶段的功率。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 部件 功率 控制 方法 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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