[发明专利]一种绕丝结构及热场温控方法在审
| 申请号： | 202011407337.6 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112747603A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 刘群;郭永胜;林佳继;张武;庞爱锁;朱太荣 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | F27D11/02 | 分类号： | F27D11/02;F27D19/00;H05B1/02;H05B3/64 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种绕丝结构及热场温控方法,包括炉丝，所述炉丝由炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝构成，所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝以及炉尾辅热区炉丝在轴向分别由若干温区炉丝构成，至少一组温区炉丝在圆周方向由至少两组分区构成，各分区分别与电路连接，电路控制各分区所在区域的温度，本发明对炉丝的炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝的温区进行温度控制，保证了炉丝整体温度的均匀性，大大提高了控温能力，本发明将至少一组温区至少分成两组分区，每一分区设定相应的功率，通过热电偶控制功率，使硅片组处于优化的温度场，从而实现了硅片组温度的均匀控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 温控 方法 | ||
【主权项】：
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