[发明专利]一种采用飞秒激光直写技术在无芯光纤上制备M-Z波导结构的方法在审
申请号: | 202011410019.5 | 申请日: | 2020-12-03 |
公开(公告)号: | CN112731587A | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 祝连庆;郝思源;张雯;娄小平;董明利;何巍;李红 | 申请(专利权)人: | 北京信息科技大学 |
主分类号: | G02B6/10 | 分类号: | G02B6/10;C03B37/10;G01D5/353 |
代理公司: | 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 | 代理人: | 王琦;庞立岩 |
地址: | 100085 北京市海淀区清*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种基于飞秒激光直写技术的制备无芯光纤M‑Z波导结构的方法,该方法采用无芯光纤玻璃棒,使用飞秒激光器,通过逐线刻写方式,加工得到M‑Z结构,该方法不需要昂贵的掩模版,易于制作,可重复性高易于实现器件的批量加工,同时,应用此方法得到的无芯光纤M‑Z波导结构灵敏度高,线性度好,适用于折射率传感领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 采用 激光 技术 光纤 制备 波导 结构 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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