[发明专利]一种热炉降温结构在审
| 申请号： | 202011410605.X | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112665388A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 刘群;郭永胜;庞爱锁;林佳继;张武;林依婷 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D9/00 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热炉降温结构,包括石英管和防护隔层，防护隔层与石英管外壁形成防护夹层，防护夹层连通有导入管和导出管，导入管、防护夹层以及导出管形成冷却通道，导入管和导出管控制冷却介质的导入和导出，冷却介质在冷却通道的流通降低硅片的温度，本发明将硅片热量辐射传导防护夹层并通过冷却介质传到炉体，相比于自然冷却方式，冷却速度提升5‑10倍，提高冷却速度，本发明将导入管、防护夹层以及导出管形成冷却通道，避免压缩空气对炉膛和电炉丝直吹，提高了使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降温 结构 | ||
【主权项】：
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