[发明专利]一种飞秒激光直写光子芯片衍射光栅检测方法在审
| 申请号： | 202011411635.2 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112730331A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 何巍;祝连庆;张雯;董明利;张东亮;孙广开;李红 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G02B6/136;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 | 代理人： | 王琦;庞立岩 |
| 地址： | 100085 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 为了实现光子芯片中光的衍射问题，本发明提出一种基于飞秒激光制备的光子芯片单元的制作方法。本发明采用飞秒激光制备完成，通过将激光光斑聚焦到SOI材料表面进行刻蚀，采用逐线法写制出间距为10nm、深度为4μm、长度100μm的锯齿型光栅结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 光子 芯片 衍射 光栅 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京信息科技大学，未经北京信息科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011411635.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
