[发明专利]一种石英制品抽真空设备有效
申请号: | 202011413166.8 | 申请日: | 2020-12-04 |
公开(公告)号: | CN112499944B | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 项瀚翀;耿健;吴然红;杨军 | 申请(专利权)人: | 杭州大和热磁电子有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00;F16F15/02;F16J15/06;F16J15/10;G01L21/00;G01M3/34 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 郑汝珍 |
地址: | 310051 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种石英制品抽真空设备,包括设备框架,所述设备框架包括工作基台,所述工作基台下方设置有连通于石英制品内腔的抽真空组件,所述工作基台上设置有产品密封组件,所述产品密封组件抵接石英制品,所述产品密封组件包括有柔性密封部,所述柔性密封部可包覆密封石英制品上的通口。通过产品密封组件上的柔性密封部对石英制品上的通口进行包覆密封,确保柔性密封部能够伴随石英产品形变调整位置,保证密封效果不受影响,有效提升抽真空测试结果的精确性。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 制品 真空设备 | ||
【主权项】:
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