[发明专利]一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备

摘要

本发明公开了一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备，包括真空腔体和纤维传动装置，所述真空腔体包括中间中空腔、放卷腔、收卷腔，所述中间中空腔为管状结构，且中间中空腔的两端固定连接在放卷腔和收卷腔上，所述中间中空腔的内部设置有内加热管，所述内加热管的两端穿过中间中空腔分别设置在放卷腔和收卷腔的内部，所述内加热管与放卷腔相接触位置设置有绝缘密封圈，且在绝缘密封圈的侧面上设置有电极，所述电极经导线与控制器电连接，通过将内加热管内置于中间中空腔内部，实现快速升温，且减少加热时候热量向外逸散，更为节能。