[发明专利]一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置

摘要

本发明公开一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置，包括依次布设的光源、聚焦透镜、样品和分光棱镜，光源发出的光经聚焦透镜后形成聚焦光束，与样品作用后，经分光棱镜分成透射、反射两部分，在透射、反射光路距离聚焦光束焦点不同的位置上分别放置有第一CCD和第二CCD，其中，第一CCD放置于聚焦点前方，第二CCD放置于聚焦点后方。本发明利用聚焦透镜、分光棱镜以及两个CCD即可实现同步采集多幅多个离焦量的图像，将采集到的图像信息代入到光强传输方程获得CCD面的复振幅信息，利用该信息构建合理的待测物初始猜测值，将其代入到叠层成像算法中，可极大缩短迭代时间。