[发明专利]用于真空镀膜设备的异向蒸发装置及方法在审
| 申请号： | 202011417374.5 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN112663000A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 朱建明 | 申请（专利权）人： | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州蓝晟专利代理事务所(普通合伙) 44452 | 代理人： | 丁海燕 |
| 地址： | 526060 广东省肇*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于真空镀膜设备的异向蒸发装置及方法，其装置包括蒸发源和蒸发材料导流器，蒸发源上设有带开口的镀膜材料放置槽蒸发材料导流器中设有导流通道，导流通道的一端与镀膜材料放置槽的开口连通，导流通道的另一端开放并朝向工件的待镀膜面，导流通道朝向待镀膜面的一端呈扩散状，且扩散面的直径大于或等于工件的宽度。其方法是通过在蒸发源与工件之间设置蒸发材料导流器，蒸发源内的镀膜材料加热蒸发后，产生的镀膜材料蒸汽通过蒸发材料导流器进行导向，根据工件的待镀膜面所处位置改变蒸发方向，从而适应工件的多种不同输送方式。本发明可实现从多种不同方向对工件进行蒸发镀膜，适应工件的不同输送方式，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 设备 蒸发 装置 方法 | ||
【主权项】：
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