[发明专利]可实现多选择比的抛光料浆组合物在审
申请号: | 202011417878.7 | 申请日: | 2020-12-07 |
公开(公告)号: | CN113004803A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 申基柱;金廷润;朴光洙;崔秀完 | 申请(专利权)人: | 凯斯科技股份有限公司 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02;H01L21/306 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 张晓影 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及可实现多选择比的抛光料浆组合物,更详细地,涉及抛光料浆组合物,包括:包括抛光粒子的抛光液;以及添加液,所述添加液包括带有酰胺键的聚合物及阳离子性聚合物。 | ||
搜索关键词: | 实现 选择 抛光 组合 | ||
【主权项】:
暂无信息
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