[发明专利]激光加工设备上料系统及方法在审
| 申请号： | 202011418684.9 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN112536539A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 张男男;何艳;邢鹏展;吴梦晗;常丰吉;梁崑;李华;刘遵明;陈治衡 | 申请（专利权）人： | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 郭婷;高一明 |
| 地址： | 130102 吉林省长*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供激光加工设备上料系统及方法，包括：检测组件、运动组件、计算组件；运动组件用于移动待加工基板至检测组件检测区域、调整工作台的位置；检测组件用于检测待加工基板位置信息，并将检测结果传递至计算组件；计算组件用于对检测结果进行数据处理，并根据数据处理结果控制运动组件；计算组件将检测结果与标准模板进行对比，得出待加工基板与标准模板间的角度偏差值和空间偏差值，根据角度偏差值和空间偏差值计算出角度修正方案和空间修正方案，并通过运动组件进行角度修正和空间修正。本发明通过采用无夹持系统，避免了因夹持动作产生的基片损伤，减少了因夹持误差导致的废片产生，大大提升了放料的稳定性和整机的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 设备 系统 方法 | ||
【主权项】：
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