[发明专利]一种光纤阵列及其制作方法有效
| 申请号： | 202011419737.9 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN112540424B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 尹小杰;张家顺;王亮亮;王玥;吴远大;安俊明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/08 | 分类号： | G02B6/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 鄢功军 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光纤阵列及其制作方法，其中，该光纤阵列，包括：定位基板；固定在定位基板上的多组光纤组；以及设置在该定位基板上的多组定位沟槽组，其中，每组定位沟槽组用于支撑一组光纤组，不同光纤组被相应的定位沟槽组支撑在不同的定位高度。本发明主要解决现有技术中的光纤阵列在与多层的硅光芯片器件进行耦合时无法精确耦合的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 阵列 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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