[发明专利]一种功率器件版图中金属连线的设计方法有效
| 申请号： | 202011421030.1 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN112541320B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 曾令宇 | 申请（专利权）人： | 深圳英集芯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/394 | 分类号： | G06F30/394;H01L23/528;H01L27/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 卢泽明 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西丽街道西丽社区打石一*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种功率器件版图中金属连线的设计方法，功率器件包括至少三层金属，该设计方法中，次顶金属层Mt‑1会在表示相反信号的顶金属层Mt下方形成一个类似于Slot的分布结构，使次顶金属层Mt‑1所表示的信号既有X方向上的连接导通又有Y方向上的连接导通，在顶金属层Mt的下方，第三金属层Mt‑2上的电流直接通过接触孔Vt和接触孔Vt‑1连接导通到顶金属层Mt上，加强次顶金属层Mt‑1在版图中的连接导通能力，缩小了次顶金属层Mt‑1和顶金属层Mt在版图连线中的导电能力差距，从而使整个版图中的电流密度分布更加均匀，导通电阻减小，功耗降低，效率提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 器件 版图 金属 连线 设计 方法 | ||
【主权项】：
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