[发明专利]一种高灵敏空化在线监测装置在审
| 申请号： | 202011422095.8 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112484962A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 西安柯莱特信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M10/00 | 分类号： | G01M10/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710119 陕西省西安市高新区高*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高灵敏空化在线监测装置，其特征在于，包括绝缘层、石墨烯层、源极、漏极、第一阻挡部、第二阻挡部、电负性材料部、第一电正性材料部、第二电正性材料部，石墨烯层置于绝缘层上，源极和漏极置于石墨烯层上的两端，第一阻挡部和第二阻挡部固定在石墨烯层上，第一阻挡部和第二阻挡部位于源极和漏极的内侧，电负性材料部周期性地置于第一阻挡部和第二阻挡部之间，电负性材料部固定在石墨烯层上，第一电正性材料部和第二电正性材料部周期性地置于电负性材料部上，第一阻挡部和第二阻挡部的高度大于电负性材料部和第一电正性材料部或第二电正性材料部的高度之和。本发明能够实现更高灵敏度的空化在线监测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏 在线 监测 装置 | ||
【主权项】：
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