[发明专利]带有扫描线圈的离子镀膜装置在审
| 申请号： | 202011423394.3 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112359330A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 冯森;蹤雪梅;刘威 | 申请（专利权）人： | 江苏徐工工程机械研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 艾春慧 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种带有扫描线圈的离子镀膜装置，用于对工件镀膜，包括：离子源，被配置为释放用于所述工件镀膜的等离子体；和扫描线圈，包括同轴设置的第一线圈和第二线圈；控制器，与所述第一线圈和所述第二线圈信号连接，被配置为通过控制所述第一线圈和第二线圈的通电情况以使所述扫描线圈产生不同状态的磁场以控制所述等离子体的运动方向，以控制所述等离子体在所述工件上的沉积区域。利用该装置对工件进行镀膜有助于使薄膜的厚度更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 扫描 线圈 离子 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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