[发明专利]抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法在审
| 申请号： | 202011423839.8 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112946998A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 平野智之;平山文武;野村架奈;河野绅一;中川裕介 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 陈亦欧;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种抗蚀剂组合物，含有树脂成分(A1)与增塑剂成分(Z)，树脂成分(A1)具有包含酸分解性基团的结构单元(a1)、以式(a10‑1)表示的结构单元(a10)，增塑剂成分(Z)具有以式(z1‑1)表示的结构单元(z1)且不含酸解离性基团，增塑剂成分(Z)的含量相对于树脂成分(A1)100质量份为50质量份以下，固体成分浓度为25质量％以上。式中，Wa |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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