[发明专利]处理微结构部件的装置和方法在审
| 申请号： | 202011432934.4 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN112951692A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | N.奥特;T.卢克斯;J.韦尔特 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/304 | 分类号： | H01J37/304;H01J37/30;H01J37/244;G03F1/74;G03F1/86;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种处理特别是用于微光刻的微结构部件的装置和方法。一种处理微结构部件的装置包括：离子束源(130、230)，用于将离子束(135、235)施加到所述部件(100、200)的至少一些区域，其中，所述离子束的离子能量不大于5keV；以及检测器(150、250)，用于检测在所述部件(100)处反向散射的粒子。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 微结构 部件 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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