[发明专利]水下触觉传感器和其制备方法有效
申请号: | 202011433572.0 | 申请日: | 2020-12-10 |
公开(公告)号: | CN112729662B | 公开(公告)日: | 2023-01-06 |
发明(设计)人: | 程玙;常煜 | 申请(专利权)人: | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
主分类号: | G01L9/12 | 分类号: | G01L9/12 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 方良 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种水下触觉传感器和其制备方法。水下触觉传感器包括柔性电路板,包括柔性基板,所述柔性基板的表面上分布有叉指电极;弹性体层,与所述柔性电路板含有所述叉指电极的表面结合,并覆盖所述叉指电极;在所述弹性体层的面对所述叉指电极表面上设置若干弹性体凸起,且在所述弹性体层与柔性电路板相结合面之间形成有由所述弹性体凸起分布而形成的若干通道,所述通道穿过所述叉指电极所含的叉指条电极表面,且与外界相通。本发明水下触觉传感器具有良好的轻薄和柔性特点,其所含的通道直接与环境流体相通,在环境流体环境中水下触觉传感器的内部和外部不会出现水压差,从而在大范围的压力变化或水下深度上具有高的传感分辨率和精度。 | ||
搜索关键词: | 水下 触觉 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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