[发明专利]晶圆片同心规整装置

摘要

本发明涉及晶圆片加工技术领域，公开了一种晶圆片同心规整装置，包括安装板、固定板和规整机构；所述安装板通过支撑轴安装在固定板上；所述安装板靠近固定板的一面上设置有直线导轨；所述直线导轨上设置有滑块；所述固定板底部设置有步进电机；所述安装板中心开设有圆孔，所述圆孔内设置有感应开关；所述安装板上还设置有限制规整机构的限位装置。本发明可使夹紧工件的规整轴同时向心移动，且移动距离完全相等，因而定位精度准确，实现工件的自动夹紧和定心。利用伸出的规整块夹紧，可根据不同的工件设计成不同长短。本装置采用步进电机驱动，代替人工劳作，大大提高了生产效率和加工质量，改善了劳动条件。