[发明专利]适用于直管蒸发装置的光路稳定结构在审

专利信息
申请号: 202011438937.9 申请日: 2020-12-10
公开(公告)号: CN112346255A 公开(公告)日: 2021-02-09
发明(设计)人: 凌菲彤;孙桂侠;熊明;刘涛 申请(专利权)人: 核工业理化工程研究院
主分类号: G02B27/30 分类号: G02B27/30
代理公司: 天津市宗欣专利商标代理有限公司 12103 代理人: 马倩
地址: 300180 *** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种适用于直管蒸发装置的光路稳定结构,包括空气扰动补偿机构和光路漂移量探测机构,所述空气扰动补偿机构包括Ⅰ号快速反射镜和设置于其反射光路上的Ⅱ号快速反射镜,Ⅰ号快速反射镜设置于激光器发射光路上;所述光路漂移量探测机构包括设置于Ⅱ号快速反射镜反射光路上的分光镜和设置于分光镜反射管路上的位置探测器;所述Ⅰ号快速反射镜和Ⅱ号快速反射镜之间设置准直调整系统。本发明用于稳定通过直管蒸发装置的激光光路,提高激光准直精度,减少激光器本身波动和环境空气扰动等引起的光路偏移。
搜索关键词: 适用于 蒸发 装置 稳定 结构
【主权项】:
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