[发明专利]一种实时超声刺激电信号记录芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 202011440606.9 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112741640B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 孟龙;周伟;郑海荣;牛丽丽;林争荣;彭本贤;乌玛.儒可;崔英健 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | A61B5/388 | 分类号： | A61B5/388;A61N7/00 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 范盈 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实时超声刺激电信号记录芯片及其制备方法，该制备方法包括以下步骤：S1，在压电基底上制作叉指电极，得到声表面波芯片；并制作记录电极和电极引线S2，在S1得到的芯片上制作绝缘保护层，并对绝缘保护层处理形成记录电极，得到将叉指电极和记录电极结合的芯片；S3，制备PDMS腔道；S4，将S3制备的PDMS腔道与S2得到的芯片键合，得到实时超声刺激电信号记录芯片。本发明通过将产生声表面波超声的叉指电极与多通道记录电极结合，实现了超声刺激下多通道电信号的实时记录，能够实现神经环路上多个神经元电信号的实时记录，有效解决了传统换能器由于体积过大，与多通道记录电极不兼容的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实时 超声 刺激 电信号 记录 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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