[发明专利]一种基于MEMS技术的无磁电加热器的加工方法在审
| 申请号： | 202011443269.9 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112694061A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 秦杰;谢耀;万双爱 | 申请（专利权）人： | 北京自动化控制设备研究所 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于MEMS技术的无磁电加热器的加工方法，包括在单晶硅片或陶瓷、玻璃基底表面加工电阻层：进行光刻、显影，离子铣，旋涂光刻型聚酰亚胺薄膜。然后在已经加工完的基底表面的背面，重复上述工艺进行背面金属层的制备以及表面绝缘层加工。本发明能有效抵消通电过程中产生的磁场，解决了双层金属之间的电绝缘问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 技术 磁电 加热器 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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