[发明专利]一种用于半导体晶圆清洗纯水的收集再利用装置在审
| 申请号： | 202011445088.X | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112661282A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 李超 | 申请（专利权）人： | 江西舜源电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/02 | 分类号： | C02F9/02;C02F103/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 337000 江西省萍乡*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于半导体晶圆清洗纯水的收集再利用装置，包括箱体，所述箱体一侧表面设置有回收嘴，且箱体另一侧表面焊接有过渡箱。有益效果：本发明通过将内径依次减小的圆筒型第一滤罩、第二滤罩和第三滤罩伸入箱体内部，然后通过握把转动第一滤罩、第二滤罩和第三滤罩，促使第一滤罩、第二滤罩和第三滤罩的外螺纹分别与箱体内侧底面的多个环形螺纹槽固定连接，直至第一滤罩、第二滤罩和第三滤罩下部表面粘接的橡胶环与箱体内侧底面紧密贴合，实现第一滤罩、第二滤罩和第三滤罩的安装，而通过清洗纯水由回收嘴导入箱体内部，促使清洗纯水依次透过第一滤罩、第二滤罩和第三滤罩的滤网和纳滤膜，使得清洗纯水得到多层过滤，方便纯水再利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 清洗 纯水 收集 再利用 装置 | ||
【主权项】：
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