[发明专利]一种ZnSe基底7.7-9.5μm波段高耐用性减反膜及制备方法在审

专利信息
申请号: 202011445875.4 申请日: 2020-12-08
公开(公告)号: CN112505803A 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 李刚;董力;张友良;杨伟声;张红梅;吴栋才;耿曙;王宇彤 申请(专利权)人: 云南北方驰宏光电有限公司
主分类号: G02B1/115 分类号: G02B1/115;C23C14/58;C23C14/28;C23C14/18;C23C14/06
代理公司: 北京东灵通专利代理事务所(普通合伙) 61242 代理人: 王荣
地址: 655000 *** 国省代码: 云南;53
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摘要: 发明涉及红外镀膜技术领域,具体涉及一种ZnSe基底7.7‑9.5μm波段高耐用性减反膜及制备方法,其中ZnSe基底7.7‑9.5μm波段高耐用性减反膜,为设置在基层表面并与空气接触的膜层结构,并由依次叠层连接的ZnSe层、Ge层、ZnSe层、Ge层、ZnSe层、YbF3层、ZnS层构成。本发明的ZnSe基底7.7‑9.5μm波段高耐用性减反膜,用于为解决现有技术中,ZnSe材料基底7.7‑9.5μm波段减反膜光学性能不佳,抗盐溶液浸泡和抗摩擦能力不强,无法很好地满足新型光学仪器的使用要求的技术问题。
搜索关键词: 一种 znse 基底 7.7 9.5 波段 耐用性 减反膜 制备 方法
【主权项】:
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