[发明专利]一种同轴式双线圈射频驱动气体放电装置在审
| 申请号： | 202011448323.9 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112638023A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 冯高平;洪延姬;韩建慧;宋俊玲;于嘉琪;饶伟;朱潇潇 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军战略支援部队航天工程大学 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05H1/34;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京众元弘策知识产权代理事务所(普通合伙) 11462 | 代理人： | 宋磊;王洪波 |
| 地址： | 101416*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明采用同轴式双线圈射频驱动气体放电方式，提供一种用于产生低温低压等离子体放电装置。本发明采用两个螺旋线圈与屏蔽层构成双线圈射频共振腔，激发气体导管中的气体产生等离子体放电。本发明内外两个螺线圈的参数不同，可以采用不同频率射频信号同时驱动等离子体放电，对电子能量与电子密度进行解耦独立控制，提高亚稳态原子激发效率。本发明有内、外两组螺旋线圈，在其中一个螺旋线圈失效时，另一个螺旋线圈可以单独工作驱动等离子体放电，有利于提高放电装置的可靠性与鲁棒性，减少拆装真空维护次数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同轴 双线 射频 驱动 气体 放电 装置 | ||
【主权项】：
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