[发明专利]一种多晶变温沉积扩散的方法及其应用有效

专利信息
申请号: 202011450544.X 申请日: 2020-12-09
公开(公告)号: CN112652678B 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 聂文君;王菲;张伟;王路路;贾慧君;李文敏 申请(专利权)人: 晋能清洁能源科技股份公司;晋能光伏技术有限责任公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/22
代理公司: 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 代理人: 赵徐平
地址: 033000 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明公开了一种多晶变温沉积扩散的方法,在过量氧气的条件下,以液态三氯氧磷作为扩散磷源,采用背靠背扩散方式进行变温沉积扩散。本发明的多晶变温沉积扩散的方法,通过在工艺过程通入过量氧气,减少对硅有腐蚀作用的五氯化磷的产生,利用改善后扩散的变温沉积工艺,在保证不损失转换效率,不增加能耗前提下,沉积过程做完后,可直接做推进步,缩短升温时间,从而提高产能,降低度电成本。
搜索关键词: 一种 多晶 沉积 扩散 方法 及其 应用
【主权项】:
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