[发明专利]一种一体式推拉结构石英谐振式压力传感器有效
| 申请号： | 202011453885.2 | 申请日： | 2020-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN112484900B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 李村;赵玉龙;葛晓慧;张全伟;李波;韩超 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L9/08 | 分类号： | G01L9/08 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种一体式推拉结构石英谐振式压力传感器,包括一体式推拉结构元件，一体式推拉结构元件连接有两个石英双端固支音叉，一体式推拉结构元件上部及两个石英双端固支音叉外部连接有上盖帽形成上腔室，真空封装；一体式推拉结构元件下部连接有下盖板形成下腔室，下腔室为PCB安装腔室，普通密封；两个石英双端固支音叉安装于柔性框架的中轴线上，上下左右对称安装；柔性框架与固定框架在中线处固连，上下两处隔离，保证石英双端固支音叉安装的对称性；通过测量两个石英双端固支音叉频率变化，可获得待测压力信息，具有准数字信号输出，高精度，高稳定性等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 体式 推拉 结构 石英 谐振 压力传感器 | ||
【主权项】：
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