[发明专利]一种用于双光束及多光束三维重合对准的方法有效
| 申请号： | 202011456448.6 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN114623762B | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 赵苗;原续鹏;阮昊;郭新军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G02B27/30 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于双光束以及多光束三维重合对准的方法，包括步骤：①利用应用于双光束光刻的光束对准系统，使第一束光与荧光聚合材料在焦点处行成荧光聚合点，定位第一束光的三维位置信息；②通过第二束光或者多束光激发所述的荧光聚合点；③调节第二束光或者多束光所对应的二向色镜的位置，至探测单元探测到的最强荧光信号处。本发明通过荧光聚合材料与所述第一束光发生聚合反应，定位第一束光的三维位置信息，并用激发的荧光强度变化来对准双光束以及多光束三维重合，使精度更高，且对准操作更为简洁。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光束 三维 重合 对准 方法 | ||
【主权项】：
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