[发明专利]隔挡部件及基板处理装置在审
| 申请号： | 202011456572.2 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN113013012A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 郑俊泳;佐佐木良 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种对隔挡部件的破损进行抑制的隔挡部件及基板处理装置。该隔挡部件包括：内圈部；外圈部，相对于所述内圈部设置在外侧；以及连接部，将所述内圈部与所述外圈部连接，其中，所述连接部具有：圆弧形状的开口，在径向和周向上布置有多个，并且在所述周向上延伸；刚体部，形成于在相同周圈上相邻的所述开口之间；以及壁部，形成于在所述径向上相邻的所述开口之间，并且将一个所述刚体部与另一个所述刚体部连接。 | ||
| 搜索关键词： | 部件 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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