[发明专利]一种侦测结构、及STI异常孔洞的侦测方法

摘要

本发明提供了一种侦测结构、及STI异常孔洞的侦测方法，基于STI区域位于P型衬底上第一N型掺杂区域和第二N型掺杂区域之间的侦测结构，将栅极和源极浮空，漏极接入预设电压，获取漏电流的第一变化情况；将栅极浮空，源极接地，漏极接入所述预设电压，获取漏电流的第二变化情况；依据第一变化情况和第二变化情况，判断STI区域是否存在异常孔洞。该侦测方法通过在两种上电情况下，分别获取漏电流的变化情况，当STI区域存在异常孔洞时会有额外的漏电流产生，那么漏电流的第二变化情况必然会出现明显的变化，显然通过漏电流的两种变化情况可以判断出STI区域是否存在异常孔洞，且该侦测方法简单，耗时也比较短。