[发明专利]一种新型红外探测器及制备方法在审
| 申请号： | 202011460898.2 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112645277A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 康晓旭 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G01J5/20 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;尹一凡 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体的技术领域，公开了一种新型红外探测器，包括设置在带处理电路的衬底上的微桥谐振腔结构，所述微桥谐振腔结构包括牺牲层、支撑与电连接孔和功能层，所述牺牲层采用碳基材料制成，所述功能层覆盖在整个微桥的表面，并将填充在支撑与电连接孔内的牺牲层封住。本发明的整个微桥谐振腔结构的表面膜层结构更加简化，从而降低微桥结构应力平衡的难度，同时降低额外膜层带来的成本，大幅度提升产品的性能，极具应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 红外探测器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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