[发明专利]一种多能场辅助化学机械抛光装备

摘要

本发明公开了一种多能场辅助化学机械抛光装备，包括机壳、旋转系统组件、上下移动系统组件、主轴系统、容器、加热模块、超声振动模块、控制系统及升降平台，所述机壳内设有一隔板，旋转系统组件、上下移动系统组件和主轴系统通过隔板连接固定，升降平台固定在机壳内底板上，超声振动模块安装在升降平台上，容器放置固定在超声振动模块上，加热模块贴合固定在容器壁上，控制系统可控制装备的旋转运动、上下移动、超声振动及加热等参数。本发明设计的装备通过进行单独的旋转运动、上下移动或两者的耦合运动，同时进行加热和超声振动，可实现工件尤其是复杂结构件的多能场辅助化学机械抛光。