[发明专利]全自动老化测试上下料系统及方法有效
申请号: | 202011463750.4 | 申请日: | 2020-12-11 |
公开(公告)号: | CN112520413B | 公开(公告)日: | 2022-04-22 |
发明(设计)人: | 何润;严海忠 | 申请(专利权)人: | 苏州乾鸣半导体设备有限公司 |
主分类号: | B65G47/91 | 分类号: | B65G47/91 |
代理公司: | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人: | 杨慧红 |
地址: | 215000 江苏省苏州市吴*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种全自动老化测试上下料系统,包括机架,还包括芯片上下料机构,用于料盘与中转治具之间的芯片往返运送;中转治具,用于临时放置待测芯片和测试完成的芯片;芯片调整运送模组,用于调整芯片之间的间距,并将待测芯片由中转治具运送至中转站,以及将测试完成的芯片由中转站运送至中转治具;中转站,并且用于中转站与升降上下料平台之间老化板的运送;升降上下料平台,用于将装载有待测芯片的老化板运送至多层推车,或从多层推车将装载有测试完成的芯片的老化板运送至中转站;多层推车,在地面移动,用于中转站与老化测试机之间老化板的运送。节省人工,上下料同时进行,整个过程紧密衔接,前后无需等待,上下料效率提升巨大。 | ||
搜索关键词: | 全自动 老化 测试 上下 系统 方法 | ||
【主权项】:
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