[发明专利]液处理装置、液处理方法和计算机可读取的存储介质在审
| 申请号： | 202011464044.1 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN113031407A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 三浦拓也;高桥彰吾;田中公一朗 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种液处理装置、液处理方法和计算机可读取的存储介质。液处理装置的一例包括：构成为能够保持基片的基片保持部；构成为能够向基片的表面供给处理液的处理液供给部；构成为能够向基片的表面供给气体的气体供给部；控制部。气体供给部包括扩散喷嘴，该扩散喷嘴形成有相对于基片的表面以各自不同的角度延伸的多个喷出口。控制部在基片的表面被供给有处理液的状态下，执行控制气体供给部的处理，以使得从扩散喷嘴对基片的表面中的至少包含中央部的区域喷射气体。根据本发明，能够更均匀地控制基片的面内温度分布。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 计算机 读取 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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