[发明专利]一种取样装置在审
| 申请号： | 202011471588.0 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112683586A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 李在桓 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/10 | 分类号： | G01N1/10;B08B3/02;B08B9/093;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 胡影;李红标 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种取样装置，包括：箱体，箱体内限定有第一腔室和第二腔室，第一腔室与第二腔室连通；取样结构，取样结构设置于第一腔室中；机械臂，机械臂上设有夹爪，夹爪在第一腔室与第二腔室中可移动；清洗结构，清洗结构设在第二腔室中。在本发明的取样装置中，取样结构设置于第一腔室中，机械臂上设有夹爪，夹爪在第一腔室与第二腔室中可移动，清洗结构设在第二腔室中，在取样过程中，可以通过夹爪来夹取取样瓶和瓶盖，通过清洗结构可以清洗取样瓶和瓶盖，可以在第一腔室中完成取样，避免外部环境中的污染物进入药液，提高清洗液的检测结果的准确性，保证硅片的清洗效果，提高硅片的加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 取样 装置 | ||
【主权项】：
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