[发明专利]旋转装置在审
申请号: | 202011474506.8 | 申请日: | 2020-12-14 |
公开(公告)号: | CN113088933A | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 施建新;蒲勇 | 申请(专利权)人: | 芯三代半导体科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种旋转装置,包括:具有反应腔的反应器;壳体,设置在反应器的底部,壳体包括容纳腔,容纳腔和反应腔相连通;旋转轴,绕自身轴线可转动地设置在壳体的容纳腔内,且旋转轴的一端伸至反应腔内;旋转盘,和旋转轴伸至反应腔的一端连接;石墨托盘,支撑在旋转盘上;加热组件,设置在反应腔内,用于对石墨托盘加热;无框电机,包括转子和定子,定子固定设置在壳体上,转子套设在旋转轴的外侧壁上且对应设置在定子的内部。本发明由于采用无框电机直接驱动旋转轴转动,对旋转轴仅仅施加旋转的力矩,而无侧向力,使得旋转装置的旋转更为平稳和可靠。 | ||
搜索关键词: | 旋转 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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