[发明专利]旋转装置在审

专利信息
申请号: 202011474506.8 申请日: 2020-12-14
公开(公告)号: CN113088933A 公开(公告)日: 2021-07-09
发明(设计)人: 施建新;蒲勇 申请(专利权)人: 芯三代半导体科技(苏州)有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州市中国(江苏)*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种旋转装置,包括:具有反应腔的反应器;壳体,设置在反应器的底部,壳体包括容纳腔,容纳腔和反应腔相连通;旋转轴,绕自身轴线可转动地设置在壳体的容纳腔内,且旋转轴的一端伸至反应腔内;旋转盘,和旋转轴伸至反应腔的一端连接;石墨托盘,支撑在旋转盘上;加热组件,设置在反应腔内,用于对石墨托盘加热;无框电机,包括转子和定子,定子固定设置在壳体上,转子套设在旋转轴的外侧壁上且对应设置在定子的内部。本发明由于采用无框电机直接驱动旋转轴转动,对旋转轴仅仅施加旋转的力矩,而无侧向力,使得旋转装置的旋转更为平稳和可靠。
搜索关键词: 旋转 装置
【主权项】:
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