[发明专利]一种高效晶体硅太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种高效晶体硅太阳能电池及其制备方法，所述高效晶体硅太阳能电池的制备方法包括：(1)硅片前处理：将洁净的硅片置于碳氮共渗炉中，抽真空后通入甲烷和氨气的混合气体，温度为800～1200℃，时间为30～240min，甲烷的流量为0.8～1.0m3/h，氨气的流量为0.5～0.75m3/h，碳势为0.9％～1.2％；(2)制绒；(3)扩散；(4)刻蚀；(5)钝化；(6)丝网印刷；(7)退火烧结。本发明通过对硅片进行前处理，增强了由SiNx：H薄膜扩散到硅片中的氢的稳定性，减少了一定温度及光照下氢的释放量。