[发明专利]抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法在审
| 申请号： | 202011474716.7 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112987497A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 平野智之;米村幸治;中川裕介 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 陈亦欧;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种负型抗蚀剂组合物，含有：具有包含酚羟基的结构单元(a10)的高分子化合物(A1)、以下述通式(b0‑1)表示的产酸剂(B0)、交联剂(C)、在分子内具有1个或2个酚羟基且不具有羧基的芳香族化合物(Z)(式中，Rb |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 以及 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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