[发明专利]一种精密运动台特定频率扰动抑制方法

摘要

本发明公开了一种精密运动台特定频率扰动抑制方法，所述方法包括如下步骤：一、由轨迹生成器Cr生成精密运动台P的期望位置信号r；二、测量P的实际位置信号y；三、将r与y作差，得到位置误差信号e，e经过反馈控制器C得到反馈控制信号ufb；四、前一周期的控制信号u经过滤波器Q之后得到信号uQ；五、计算Q与精密运动台名义模型P0的逆即的乘积，得到y经过之后得到uPQ；六、将uPQ与uQ作差得到扰动信号估计值七、将ufb与作差，得到当前周期控制信号u，u与外部扰动信号d的和up作用于P产生位置信号y。本发明不仅能够对一定频率范围内的扰动均起到一定的抑制作用，而且对特定频率扰动可以加强抑制能力，进一步提升精密运动台控制性能。