[发明专利]一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统在审
申请号: | 202011476537.7 | 申请日: | 2020-12-15 |
公开(公告)号: | CN112636636A | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 秦毅;李春龙;宋立武;曹金龙 | 申请(专利权)人: | 南通速图科技有限公司 |
主分类号: | H02N15/00 | 分类号: | H02N15/00;H02K37/00;H02K1/12;H02K1/22;H02K11/30;H02K11/33;B81B5/00;B81B7/02;B81B7/00 |
代理公司: | 北京翔石知识产权代理事务所(普通合伙) 11816 | 代理人: | 李勇 |
地址: | 226602 江苏省南通*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统,包括定子和转子、多个轴向旋转驱动电极、多个径向旋转驱动电极和公共电极,所述定子位于公共电极的圆心位置,多个所述轴向旋转驱动电极呈环形分布于定子上,所述轴向旋转驱动电极的内部设有悬浮线圈,所述悬浮线圈的内部设有稳定线圈,所述公共电极的四周均匀设有多个支撑座,所述支撑座的内部设有角度线圈,所述角度线圈的内部设有铁芯,多个所述径向转动电极均匀分布在在转子的圆心四周,所述转子的中心位置安装有反射镜,所述悬浮线圈、稳定线圈和角度线圈的导线两端均设有引脚。本发明由于采用电磁悬浮结合静电驱动技术,能够实现微镜轴向±180度范围的大旋转角度成像。 | ||
搜索关键词: | 一种 尺度 转角 电磁 悬浮 测控 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南通速图科技有限公司,未经南通速图科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202011476537.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。