[发明专利]一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统在审

专利信息
申请号: 202011476537.7 申请日: 2020-12-15
公开(公告)号: CN112636636A 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 秦毅;李春龙;宋立武;曹金龙 申请(专利权)人: 南通速图科技有限公司
主分类号: H02N15/00 分类号: H02N15/00;H02K37/00;H02K1/12;H02K1/22;H02K11/30;H02K11/33;B81B5/00;B81B7/02;B81B7/00
代理公司: 北京翔石知识产权代理事务所(普通合伙) 11816 代理人: 李勇
地址: 226602 江苏省南通*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统,包括定子和转子、多个轴向旋转驱动电极、多个径向旋转驱动电极和公共电极,所述定子位于公共电极的圆心位置,多个所述轴向旋转驱动电极呈环形分布于定子上,所述轴向旋转驱动电极的内部设有悬浮线圈,所述悬浮线圈的内部设有稳定线圈,所述公共电极的四周均匀设有多个支撑座,所述支撑座的内部设有角度线圈,所述角度线圈的内部设有铁芯,多个所述径向转动电极均匀分布在在转子的圆心四周,所述转子的中心位置安装有反射镜,所述悬浮线圈、稳定线圈和角度线圈的导线两端均设有引脚。本发明由于采用电磁悬浮结合静电驱动技术,能够实现微镜轴向±180度范围的大旋转角度成像。
搜索关键词: 一种 尺度 转角 电磁 悬浮 测控 系统
【主权项】:
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