[发明专利]一种原位微纳米压痕/划痕测试平台有效

专利信息
申请号: 202011476609.8 申请日: 2020-12-14
公开(公告)号: CN112710537B 公开(公告)日: 2023-07-14
发明(设计)人: 常超;张辉;张霞;马桢;林金保;张柱 申请(专利权)人: 太原科技大学
主分类号: G01N3/02 分类号: G01N3/02;G01N3/16;G01N3/42
代理公司: 山西晋扬知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14125 代理人: 梁雅男
地址: 030000 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明公开了一种原位微纳米压痕/划痕测试平台,涉及测试平台技术领域,包括粗调节装置、精细调节装置和传动装置,所述粗调节装置包括底座、角度盘和工作台,所述角度盘通过精密滑轨滑动连接在底座的顶部,所述工作台滑动连接在角度盘的顶部,所述角度盘的中部固定安装有第一涡轮。本发明该原位微纳米压痕/划痕测试平台,通过粗调节装置和精细调节装置的设置,使该测试平台具备了结构紧凑、精度高的效果,通过第一手轮和微调旋钮的配合设置,在使用的过程中可以实现高精度调节样品定位,实现对角度、多方位测试,以提高应用范围,增加装置的实用性,从而起到了结构紧凑、占用空间少的作用,达到了大行程、高精度和结构紧凑的目的。
搜索关键词: 一种 原位 纳米 压痕 划痕 测试 平台
【主权项】:
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