[发明专利]一种电容式压力传感器及温漂解决方法有效
| 申请号： | 202011477111.3 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112484902B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 葛文伟;方宇 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京专赢专利代理有限公司 11797 | 代理人： | 刘梅 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及压力传感器领域，具体是一种电容式压力传感器及温漂解决方法，所述电容式压力传感器的温漂解决方法，包括以下步骤：将电容式压力传感器置于待测压环境中，测量电容式压力传感器无施加压力条件下的第一输出电压，由第一输出电压获得无压力条件下的温度值；维持测压环境温度不变，施加设定的压力于电容式压力传感器，测量输出电压稳定时的输出电压值，由温度值和输出电压值获得此温度值时的压强值；本发明的有益效果是：通过所述的温漂解决方法先求出电容介质的温度，再根据温度求出压强，解决了温漂问题，提高了准确性；利用压电陶瓷作为电容介质，不需要考虑电极间抽真空和真空中电极引出问题，也不需要考虑电极间弹性介质的形变能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 压力传感器 解决方法 | ||
【主权项】：
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