[发明专利]一种环保高效ITO靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202011477287.9 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112479682A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 唐智勇 | 申请（专利权）人： | 株洲火炬安泰新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/632 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 杨千寻;杜梅花 |
| 地址： | 412000 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种环保高效ITO靶材的制备方法，包括以下步骤：S1、用等离子弧熔融In‑Sn合金，之后将处于熔融态的金属在等离子发生室内的含氧40％vol的气流中氧化，并使所获得的反应产物在气流中强烈冷却制得原料粉末；S2、将原料粉末、离子交换水、氧化锆装入球磨罐中，球磨混合；S3、加入分散剂继续混合；S4、加入蜡基粘结剂继续混合；S5、将所构成的磨浆注入到过滤式成形模内制作成形体；S6、将此成形体进行干燥脱脂；S7、将干燥脱脂后的成形体送入烧结炉内烧结，制得靶材。本发明具备易脱模，且可提高靶材的相对密度，进而增加靶材的良品率，降低生产成本的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环保 高效 ito 制备 方法 | ||
【主权项】：
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