[发明专利]一种3D立体堆叠存储器的激光单粒子效应测试方法有效
| 申请号： | 202011478874.X | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112649715B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 文轩;安恒;杨生胜;高欣;张晨光;常思远;曹洲;银鸿;王俊;王健;张雷 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 | 代理人： | 吕晓蓉 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种3D立体堆叠存储器的激光单粒子效应测试方法。该方法针对堆叠存储器的特殊多层结构，制定了对应的激光单粒子损伤分析方法。该方法利用不同能量的脉冲激光入射穿透被测存储器的敏感深度与脉冲激光光斑直径，确定诱发产生的电荷量，可实现对被测存储器的内部结构的定量、定位辐照，不仅能够获得错误单元的位置，还能够获得错误单元的错误类型；同时能够实现对堆叠存储器单粒子损伤效应的逐层标定测试，为堆叠器件的抗辐射损伤分析及加固设计提供可靠数据支持。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立体 堆叠 存储器 激光 粒子 效应 测试 方法 | ||
【主权项】：
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